Vakuová pec, tedy ve specifickém prostoru komory pece, vakuový systém (pečlivě sestavený vakuovou pumpou, vakuoměrem, vakuovým ventilem a dalšími komponenty) slouží k vypouštění části látek do komory pece, takže tlak v komoře pece je nižší než standardní atmosférický tlak a prostor v komoře pece se využívá k dosažení vakuového stavu, což je vakuová pec.
Vakuová pec je zařízení, které se zahřívá ve vakuovém prostředí. Komora pece je vedena potrubím do systému vysokovakuového čerpadla v peci utěsněné kovovým nebo křemenným sklem. Stupeň vakua pece může dosáhnout 133×(10-2~10-4)Pa. Topný systém v peci může být přímo ohříván elektrickým ohřevem drátu odporové pece (jako je wolframový drát), nebo může být ohříván vysokofrekvenční indukcí. Maximální teplota může dosáhnout asi 3000 stupňů. Používá se především pro keramické vypalování, vakuové tavení, odplyňování a žíhání elektrických vakuových dílů, pájení kovových dílů a keramicko-kovové těsnění.
