Systém PECVD se třemi topnými zónami 1200C
Systém PECVD se třemi topnými zónami 1200C

Systém PECVD se třemi topnými zónami 1200C

SK2-CVD-12TPB4 je trubková pec pro systém PECVD, sestávající z 300W nebo 500W vysokofrekvenčního zdroje, vícekanálového přesného průtokového systému, vakuového systému a trubkové pece. Běžně používaná teplota je 1100 stupňů Celsia nebo nižší a jejími hlavními charakteristikami jsou nízká teplota nanášení, vysoká rychlost, dobrá kvalita filmu, méně dírek a menší náchylnost k praskání. Ideální zařízení pro pěstování nanodrátů nebo přípravu různých tenkých vrstev metodou CVD.
Odeslat dotaz
Vlastnosti

 

● Maximální teplota RT-1200 stupňů

● Rozdělený typ pece, pec můžete otevřít.

● Může zavádět více než 2 kanály plynu, se stupněm vakua 10Pa pomocí mechanické pumpy a 500W RF zdroje pro posílení signálu.

● Vysoce kvalitní izolační materiály z keramických vláken z oxidu hlinitého

● Přesnost regulace teploty ±1 stupeň

● S funkcí alarmu přehřátí

● Chladicí ventilátor může snížit teplotu pláště

 

Modelka

SK2-CVD-12TPB4

Rozměry: Standardní délka topné zóny (mm)

440 mm

Rozměry: Standardní průměr trubky (mm)

∮60 mm

Max.teplota

1200 stupňů, nepřetržitá pracovní teplota 1100 stupňů.

Napětí (V)

220 1P

Typ termočlánku

K

Topné těleso

Odporový drát ze slitiny HRE

Přesnost teploty

±1 stupeň

Rychlost ohřevu

Volné nastavení 0-30 stupňů/min

Komorní materiál

Použití pokročilého vysoce kvalitního mikrokrystalického vláknitého materiálu z oxidu hlinitého

Konstrukce pece

Dvouvrstvá vzduchem chlazená struktura, povrchová teplota je nižší než 60 stupňů

Regulátor teploty

Inteligentní přístroj pro regulaci teploty PID, 30 programových segmentů, regulace SSR, funkce samonastavení parametrů PID; program zvýšení teploty, program uchování tepla, program chlazení

RF zdroj 500W

Výstupní výkon: 5-500W ±1 stupeň

RF frekvence: 13,56 MHz ± 0,005 %

Odražený výkon: až 100W

Shoda: Automatická

RF rozhraní: 50Ω, typ N

Chlazení: chlazení vzduchem

Napájení: AC 208-240V, 50/60 Hz

4-kanálový systém přesného průtoku

1. Průtok v plném rozsahu (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10 l/min.

2. Typ ventilu: Ventil Solenold.

3. Klidová poloha ventilu: Normálně zavřená.

4. Diferenční tlak: (50-300)kpa

5. Tlaková odolnost: 3 mpa.

6. Provozní teplota: 5-45 stupňů

7. Materiály: nerezová ocel 316L.

Vakuový systém

5*10-3Pa

Rychlospojka KF25, nerezový vlnovec, ruční klapkový ventil a příruba, vakuová pumpa

Volitelně lze vybavit i systémy vyššího vakua.

image001

VÍTEJTE OEM/ODM

 

Standardní příslušenství

 

Tepelné rukavice|Kelímkový hák|Termočlánek|Trubkový blok|Uživatelská příručka |Nástroje|Vakuové čerpadlo| Křemenná trubice |Příruba |Těsnicí kroužek |10mm plynová hadice |Podpěra příruby, Plynový systém, RF napájení.

 

Volitelný

 

Různé topné zóny podle vašeho výběru;

LCD dotykové ovládání pro výběr

Port RS485/USB pro připojení počítače dle výběru.

 

Detailní obrázek pro CVD-PECVD

 

image003
RF zdroj 500W
image005
Vakuový systém
image007
4-kanálový systém přesného průtoku

 

aplikace

 

Toto zařízení se používá především pro pěstování nanodrátů nebo přípravu různých tenkých vrstev pomocí CVD metody.

 

Záruka

 

Jednoletá záruka a doživotní technická podpora

Speciální tipy:

1. Spotřební materiál jako topné těleso, křemenná trubice, kelímek na vzorky atd. není v záruční době.

2. Na škody způsobené použitím korozivního plynu a kyselého plynu se nevztahuje záruka.

 

Populární Tagy: 1200c tři topné zóny pecvd systém, Čína 1200c tři topné zóny pecvd výrobci systému, dodavatelé