Vakuové pece jsou vakuové pece pro tepelné zpracování, které se dělí podle aplikačního zařízení a zahrnují následující typy:
Vakuová kalicí pec, vakuová pájecí pec, vakuová žíhací pec, vakuová magnetizační pec, vakuová temperovací pec, vakuová slinovací pec, vakuová difúzní svařovací pec, vakuová karburizační pec atd.
Podle způsobu ohřevu se vakuová pec dělí na vakuovou odporovou pec, vakuovou indukční pec, vakuovou elektrickou obloukovou pec, vakuovou samospotřebovatelnou elektrickou obloukovou pec, elektronovou pec (také známou jako elektronická bombardovací pec) a plazmovou pec.