Vakuová pec se obecně skládá z hlavního motoru, komory pece, elektrického topného zařízení, utěsněného pláště pece, vakuového systému, systému napájení, systému regulace teploty a externího dopravního prostředku. Utěsněný plášť pece je svařen z uhlíkové oceli nebo nerezové oceli a spojovací plochy oddělitelných částí jsou utěsněny vakuovým těsnícím materiálem. Aby se zabránilo deformaci pláště pece po zahřátí a poškození těsnicího materiálu při zahřívání, je plášť pece obecně chlazen vodním nebo vzduchovým chlazením. Komora pece je umístěna uvnitř utěsněného pláště pece. V závislosti na účelu pece je komora pece vybavena různými typy topných prvků, jako jsou odpory, indukční cívky, elektrody a elektronová děla. Vakuové pece pro tavení kovu jsou vybaveny kelímky a některé jsou vybaveny automatickými licími zařízeními a manipulátory pro nakládání a vykládání. Vakuový systém se skládá hlavně z vývěvy, vakuového ventilu a vakuometru.