Zařízení pro vytápění ve vakuovém prostředí. Komora pece je vedena potrubím do systému vysokovakuového čerpadla v peci utěsněné kovovým nebo křemenným sklem. Stupeň vakua pece může dosáhnout 133×(10-2~10-4)Pa. Topný systém v peci může být přímo ohříván elektrickým ohřevem drátu odporové pece (jako je wolframový drát), nebo může být ohříván vysokofrekvenční indukcí. Maximální teplota může dosáhnout asi 3000 stupňů. Používá se především pro vypalování keramiky, vakuové tavení, odplyňování a žíhání elektrických vakuových dílů, pájení kovových dílů a keramicko-kovové těsnění.