Vakuová pec, tedy ve specifickém prostoru komory pece, vakuový systém (pečlivě sestavený vakuovou pumpou, vakuoměrem, vakuovým ventilem a dalšími komponenty) slouží k vypouštění části látek do komory pece, takže tlak v komoře pece je nižší než standardní atmosférický tlak a prostor v komoře pece se využívá k dosažení vakuového stavu, což je vakuová pec.